未来工厂

IRB 1300 PECVD 硅片装卸

使用ABB全新的IRB 1300机器人将硅片装入石墨舟中,或将石墨舟中的硅片取出,放回花篮内。

IRB 1300机器人的设计同时兼顾了负载和臂展,使其更加适合在小空间内进行重物的搬运及取放动作。同时,该单元使用了小巧的OmniCore控制器,占地空间小,内置的高速度、高精度运动控制系统,能够轻松完成易碎硅片的取放作业。

IRB 1300和OmniCore的使用,使该工艺单元装卸速度和稳定性进一步提升,破片率大幅降低。

产品参数
产品型号
IRB 1300
负重(KG)
11
10
7
工作范围(m)
0.9
1.15
1.4
重复定位精度(mm)
0.02
0.023
0.03
安装方式
任意角度
防护等级
标配:IP40
轴数
6
控制器
OmniCore C30/C90XT